北京
埃因霍溫新中試線旨在借助ASML光刻系統，擴大光子芯片生產規模。
荷蘭芯片制造設備商ASML與研究機構TNO攜手，以加強歐洲的光子芯片生態系統，并加快邁向大規模制造。
此次合作將圍繞TNO新建的光子芯片中試線展開，該中試線目前正在荷蘭埃因霍溫高科技園區建設。該設施預計將成為歐洲集成光子學開發的關鍵樞紐。
根據協議，ASML將在中試線設施內部署光刻系統，包括深紫外（DUV）和I線掃描儀。雙方將把該場地用作共享研發環境，以改進制造工藝，幫助光子技術從實驗室走向商業生產。
這一伙伴關系還旨在加強歐洲的半導體供應鏈。當前，各國和企業都在尋求擴大本土芯片能力，減少對海外制造的依賴。
打造光子學能力
集成光子學使用光而非電來處理和傳輸信息。該技術被認為是一種有前景的手段，能夠在未來的電子系統中提高數據傳輸速度，同時降低能耗。
新的中試線預計將支持使用6英寸晶圓大批量生產先進的磷化銦（InP）光子芯片，這是邁向工業規模制造的重要一步。
通過將TNO的研究基礎設施與ASML的光刻專長相結合，雙方希望解決擴大光子芯片生產規模所面臨的一些關鍵挑戰。該設施還將為客戶和行業伙伴舉辦技術研討會、聯合研究活動以及演示。
TNO高科技工業部董事總經理阿爾諾·德容表示：“與ASML的此次合作強化了我們在半導體領域打造歐洲獨角獸企業的承諾。將我們的研發能力與世界一流設備相結合，我們正在創造一個獨特的中試線環境，惠及整個行業?！?/p>
此次合作恰逢市場對光子技術需求日益增長，這些技術可支撐下一代電信網絡、先進傳感系統、醫療保健應用以及數據中心基礎設施。
從實驗室到晶圓廠
除制造外，該項目預計還將支持荷蘭更廣泛的研究工作。TNO、埃因霍溫理工大學和特文特大學已在通過光子集成技術中心（PITC）開展合作，該中心專注于將光子芯片研究轉化為商業產品。
與ASML的新協議旨在通過讓開發過程更早地獲得制造工具和生產專長，進一步強化這一生態系統。據雙方稱，關鍵目標之一是縮短研究突破與商業部署之間的路徑。
ASML高級副總裁斯坦尼斯拉斯·巴龍表示：“擴大光子芯片技術，需要從尖端研究無縫過渡到大批量制造。將我們的光刻系統融入TNO的中試線，正是在彌合這一鴻溝?！?/p>
這位高管還補充說，此次合作將有助于優化集成光子學的制造工藝，加快該技術走向市場。
在歐洲尋求擴大其在先進半導體技術領域地位之際，這一新合作旨在營造一個既能支持初創企業，也能支持成熟企業開展光子芯片創新的生產環境。
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