河南
快科技7月27日消息，蔡司半導體制造技術公司（以下簡稱"蔡司SMT"）近日宣布，啟用德國新生產基地，以擴大EUV光學元件產量。
此次擴產意義重大，因為蔡司SMT是ASML EUV光刻機的唯一光學供應商，扮演著不可替代的角色，可以說沒有蔡司就沒有EUV光刻機。
蔡司SMT產能是限制ASML EUV光刻機產量的關鍵瓶頸，直接決定了ASML能否實現2027年增產30%的目標。ASML在今年2月份發布的年報中警告，如果蔡司SMT的生產中斷持續較長時間，ASML將實際上停止運營。
蔡司SMT獨家供應ASML EUV掃描儀中的透鏡、反射鏡和照明系統。一套High-NA EUV投影系統由超過4萬個零件組成，重約12噸，單面反射鏡制造需耗時數月。
為支持蔡司SMT擴產，ASML提供了19.1億歐元貸款和11.9億歐元預付款。雙方目標是將每臺光刻機的組裝周期從約22周縮短至15到16周，這將顯著提升交付效率，緩解EUV光刻機供不應求的局面。
采購額方面，2023年ASML從蔡司SMT采購33.3億歐元的光學設備，2024年達39.5億歐元，2025年增至44.1億歐元。
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