上海
羅茨螺桿真空機組是中高真空制程的主流配置，解決了單一真空泵難以兼顧大抽速與高真空度的痛點，廣泛應用于鋰電、半導體、醫藥等潔凈工業場景。其核心邏輯是雙泵級聯性能互補，實現寬區間、高效率的潔凈真空輸出。
機組由羅茨真空泵(主泵)與干式螺桿真空泵(前級泵)串聯組成，配套管路閥組、真空檢測與電控系統。羅茨泵擅長中高真空區間大流量抽氣，但自身無法直接對大氣排氣，必須依托前級泵建立背壓環境;螺桿泵可直排大氣，兼具干式無油、耐介質特性，負責系統預抽與前級背壓維持，二者性能形成精準互補。
運行嚴格遵循 “先前級、后主泵” 的啟動邏輯：先開啟螺桿前級泵，對系統管路與羅茨泵腔體進行預抽，待腔內真空度達到羅茨泵啟動壓差閾值后，再啟動羅茨主泵。羅茨泵依靠同步齒輪驅動雙轉子反向嚙合，將進氣端氣體持續等容輸送至排氣端，再由螺桿前級泵完成二次壓縮后排出大氣。
級聯設計帶來雙重性能增益：一是極限真空大幅提升，可達 1Pa 以下，遠超單級螺桿泵;二是寬真空區間抽速穩定，同時兼顧粗抽階段與高真空維持階段的效率。全程干式無油結構無油氣污染風險，還可適配含可凝性氣體、輕度粉塵的復雜工況。
羅茨螺桿真空機組通過級聯互補突破單泵性能局限，兼具高真空、大抽速、潔凈干式的核心優勢，是高端制造中高真空系統的優選方案。
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