提到中國芯片,不少人第一反應就是“卡脖子”,最鬧心的莫過于光刻機。ASML的EUV光刻機兩億美元一臺,我們拿著現(xiàn)金都買不到,連次一級的DUV現(xiàn)在出口口子也越收越緊,難不成我們真要被困死在這里?別急,我們根本沒在別人設好的賽道上死磕,早就悄悄換了方向,2026年夏天,真家伙已經(jīng)落地生產(chǎn)車間了。
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納米壓印這條繞開EUV的路,最早不是歐美大廠琢磨出來的,是華人科學家周郁在美國實驗室搞出來的。思路說白了就是換個玩法,EUV是一點點用光雕刻電路,又貴門檻又高,普通人碰都碰不到。納米壓印就是做一塊刻好電路的模板,像蓋章一樣直接把電路壓到晶圓上,一次就能成型一整層。
把這條路帶回國的,是周郁的學生葛海雄。他早年跟著導師在普林斯頓研究這項技術,二十多年前就和搭檔做出了能達到5納米以下分辨率的工藝,2004年毅然回國啃這塊沒人看好的硬骨頭。那時候整個行業(yè)的目光都盯在傳統(tǒng)光刻機上,誰都覺得蓋章這條路玩不出大名堂,葛海雄這冷板凳一坐就是十幾年。
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璞璘科技的團隊九成以上都是碩博學歷,光搞納米壓印工藝研發(fā)的博士就有近十個,還和國內外多所頂尖高校保持深度合作。一直悶頭啃最核心的技術,之前壓印機最難的兩個部件,控制模板形狀的系統(tǒng)和噴壓印膠水的模塊,一直被日本美國死死攥著。璞璘沒找捷徑,就是一樣一樣從頭自研,熬了快二十年才等到結果。
2025年8月,璞璘自研的中國首臺半導體級步進式納米壓印光刻系統(tǒng)PL-SR正式交付客戶,多項技術指標都達到了國際先進水平,單看線寬指標已經(jīng)追上了日本佳能推出的同類型納米壓印機。這一步說起來簡單,其實等于我們在國產(chǎn)芯片裝備的版圖上,硬生生地拼出了一塊全新的拼圖。
真正跨越式的突破,發(fā)生在2026年6月。璞璘向深圳力策科技交付了PL-AS真空氣壓式晶圓級納米壓印光刻機,雙方一起完成了8英寸光芯片晶圓的規(guī)模化量產(chǎn)驗證,整個制造過程完全繞開了傳統(tǒng)深紫外光刻路線。單片芯片的制造成本直接壓縮到傳統(tǒng)DUV方案的十分之一,從“有設備”跨到“能量產(chǎn)”,意義完全不同。
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現(xiàn)在AI算力爆發(fā),硅光芯片、光通信、激光雷達的需求漲得離譜,我們剛好在這個節(jié)點把成本壓到這么低,這步棋踩得太準。這次量產(chǎn)驗證就落在激光雷達芯片上,已經(jīng)在多個領域跑通了,等這項技術鋪開,未來咱們買智能車、AR眼鏡、光通信設備,核心零件能便宜這么多,最后得實惠的還是普通消費者。
咱也不能瞎樂觀,納米壓印現(xiàn)在確實還替代不了EUV造最頂尖的手機主芯片,短期內也沒法取代DUV和EUV在先進邏輯芯片領域的地位。它天生就適合做存儲、光芯片、先進封裝這類結構規(guī)整、需要重復堆疊的活兒,剛好踩中了當下的產(chǎn)業(yè)風口。現(xiàn)在全球納米壓印市場增速飛快,中國的增速更是遠超全球平均,前景一片明朗。
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除了換工藝,我們還有更狠的玩法,直接換芯片材料。幾十年來全世界造芯片都用硅,現(xiàn)在硅已經(jīng)快摸到物理極限了。電路越刻越細,細到幾納米的時候電子就開始不聽話往外漏,發(fā)熱出錯一大堆,再往下走越來越費勁。那干脆換材料行不行,復旦大學的團隊真就這么干了,一門心思磨了五年。
牽頭的是周鵬和包文中兩位教授,盯上了二維半導體這種全新材料,2025年4月就研制出了全球首款基于二維半導體材料的32維RISC-V架構微處理器“無極”,相關成果直接發(fā)在了《自然》主刊上。這塊芯片用二硫化鉬制造,集成了5900個晶體管,拿下了國際上二維邏輯芯片最大規(guī)模的驗證紀錄,反相器良率高達99.77%,實打實證明換材料造芯片這條路走得通。
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造硅基芯片像在硬石頭上雕刻,造二維芯片就像在嫩豆腐上雕花,精度要求拉滿,難度可想而知。工藝參數(shù)的組合是天文數(shù)字,純靠人工調根本不可能,團隊用AI加原子級精準調控的方法,很快就篩出了最優(yōu)參數(shù)組合,研發(fā)效率提升了一大截。更重要的是,這個新路線七成工序都能直接用現(xiàn)有的硅基產(chǎn)線,不用把整個工廠推倒重來,核心工藝已經(jīng)攢了二十多項發(fā)明專利。
現(xiàn)在硅基芯片已經(jīng)逼近2納米的極限,二維半導體被公認為是延續(xù)摩爾定律的關鍵方向,能給1納米及以下的制程提供全新的技術范式。當然咱也得說實話,目前國際上對二維半導體的研究還都在起步階段,離大規(guī)模商用還有相當長的距離,“無極”也只是完成了概念驗證,要用到咱們的手機上還得等些日子。
說白了中國芯片現(xiàn)在的核心思路就是三個字,換賽道。對手在EUV那條道上把門鎖死,我們沒必要硬往里面擠,不如自己多修幾條新路。壓印工藝在成熟領域撕開缺口,二維半導體從材料根上另起爐灶,其實換道超車這事我們真的干成過好多次。
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當年燃油車我們追了幾十年發(fā)動機變速箱,一直沒追上領先者,后來一頭扎進電動車賽道,現(xiàn)在中國品牌的電動車跑遍了全世界,誰還提當年那口氣。光伏產(chǎn)業(yè)也是一樣的路數(shù),我們不跟著別人的節(jié)奏走,自己蹚出了一條全新的路,現(xiàn)在做成了全世界最強。
芯片這條路確實更難,也更慢,但是這種敢換道的思路,本來就是最正確的選擇。這些突破背后,都是一群坐了十幾年冷板凳,認準一件事就幾十年不撒手的中國人。技術封鎖能卡住一臺光刻機的出口,可卡不住中國人默默鋪路的勁頭。
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人家能算準我們今天缺哪臺設備,絕對算不到二十多年前就有人在為今天的突破默默打底子。現(xiàn)在我們手里已經(jīng)有了量產(chǎn)設備,有了頂刊認證的成果,真家伙已經(jīng)走進了生產(chǎn)車間。硬骨頭還有一堆,路也還很長,但這場仗我們慢慢打,耗得起,時間站在我們這邊。
參考資料:人民日報 中國芯片換道突圍啟示錄
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