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      純凈勝瑾瑜 貴若冠上珠——解讀高純石英

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      (本文發表于2024年第3期)



      第一作者簡介汪靈,二級教授,博士生導師,四川省學術和技術帶頭人,享受國務院政府特殊津貼專家,《礦物學報》《巖石礦物學雜志》等期刊編委。出版有迄今為止國內外第一本關于礦物的材料屬性與應用的基礎性、實用性和系統性理論著作《礦物材料學原理》,該書被譽為礦物材料學的奠基之作;在重慶市城口縣發現超大型陶粒頁巖礦,探明資源量的潛在經濟價值超200億元;主持建成我國首條全自動4N8高純石英砂高端產品生產線,該專利產業化成果獲評2022年度四川省高校院所知識產權市場化運營典型案例。

      石英,作為一種傳統的重要工業礦物,廣泛應用在玻璃、陶瓷、鑄造、建筑、寶玉石裝飾等傳統行業。20世紀80年代以來,石英的工業應用進一步擴大到石油壓裂支撐劑和3D打印砂等新領域,尤其是計算機、新材料、新能源等新興產業對石英原材料產品的純度提出更高要求,發展出“高純石英”這一概念。

      高純石英是石英玻璃、硅材料及相關產業發展的物質基礎,廣泛用于電子信息、光伏、光通信和電光源等行業。高純石英作為一種關鍵基礎材料和新材料,在國家經濟建設和安全等方面的地位和作用都十分重要,引起各界持續高度關注,成為社會大眾關切的熱門話題,加之二氧化硅純度達99.998%(4N8)的高純石英高端產品仍然處于被“卡脖子”狀態,高純石英成為我國近年來科技研究的熱點課題,吸引了眾多企業家、投資者的熱切目光。

      何為高純石英

      高純石英(high-purity quartz),又稱高純石英砂。它是二氧化硅純度大于99.9%(3N)的石英砂系列產品總稱,其本質是一種石英晶體原材料,它以天然石英礦為原料,經提純加工而獲得,具有極高二氧化硅純度及一定粒度。

      根據產品生產和工業應用情況,以及科研工作的需要,按二氧化硅純度或鋁、硼、鋰、鈉、鉀、鈣、鎂、鈦、鐵、錳、銅、鉻、鎳等13種或15種(增加磷和鋅)痕量雜質元素總量,可將高純石英分為高端、中高端、中端和低端4個等級。


      > 高純石英產品的二氧化硅純度分類及其礦石原料品質要求

      在我國實際生產中,高純石英砂通常按用途分為拉管料、打砣料和坩堝料三大類系列產品,并根據二氧化硅純度或13種痕量雜質元素總量等技術指標進一步分為不同等級。其中,拉管料、打砣料可分為一級品、二級品和三級品3個等級,分別相當于高純石英高端、中高端和中端產品,其主要技術指標通常要求二氧化硅純度(或雜質元素總量)分別為純度99.997%(總雜質≤30×10-6)、純度99.995%(總雜質≤50×10-6)、純度99.993%(總雜質≤70×10-6)。

      拉管料是指用于熔煉拉制各種石英玻璃管的高純石英砂。石英玻璃管根據尺寸大小和二氧化硅純度不同,有多種產品規格,如大管和小管,所對應的石英砂分別稱為大管料和小管料。石英玻璃管具有熔點高、抗熱震性能優異和易于擴縮加工等優勢,主要用于芯片和光伏半導體硅片加工處理的擴散爐管等,在航天航空、武器裝備領域用來制作整流罩、雷達罩、隔熱罩、透波材料及耐高溫材料等,還用于制造鹵素燈等各種光電源器件,以及高純石英提純加工,等等。

      打砣料是指用于真空電熔法和氫氧氣煉法生產石英砣的高純石英砂。石英砣是呈圓砣狀的透明石英玻璃原材料,具有透明度高、氣泡少、膨脹系數 低、 抗 熱 震 性 能 優 異和可加工性等優勢,主要用于生產半導體石英玻璃制品,包括石英舟、石英法蘭和石英鐘罩等產品,以及各種光學石英玻璃制品,等等。

      坩堝料是指用于制備石英坩堝的高純石英砂。石英坩堝是具有不同尺寸大小的圓堝狀石英玻璃制品,具有氣泡極少(內層)、二氧化硅純度極高和熔點高等優勢,用于直拉法拉制芯片和光伏產業必需的單晶硅棒。由于單晶硅棒生長時間長、工藝條件苛刻,對坩堝料技術指標提出了極高要求,除要求氣液包裹體極少外,還要求二氧化硅純度≥99.998%(4N8),對其他雜質的分項指標也有嚴格的要求,即鋁為8×10-6~15×10-6,鈦≤2×10-6,其他雜質均<1×10-6。

      需要說明的是,除上述三大類用途外,高純石英砂還有許多重要用途,如用于生產石英玻璃纖維、石英玻璃實驗器皿、石英玻璃耐火材料,以及包括芯片封裝用的球形硅微粉在內的各種硅微粉,等等。在這些應用中,高純石英的低端產品也大有用武之地,如制造耐火材料,等等。


      > 高純石英砂用途分類示意圖

      高純石英用何原料生產

      根據石英的提純定律和提純加工效果,可將高純石英原料劃分為與高純石英砂系列產品等級相對應的4個品級,即:A 級礦,又稱優質礦或優質原料,可用于提純加工二氧化硅純度≥99.998%(4N8)的高端高純石英砂產品;B級礦,又稱上等礦或上等原料,可用于提純加工二氧化硅純度≥99.995%(4N5)的中高端高純石英砂產品;C級礦,又稱中等礦或中等原料,可用于提純加工二氧化硅純度≥99.99%(4N)的中端高純石英砂產品;D級礦,又稱下等礦或下等原料,可用于提純加工二氧化硅純度≥99.9%(3N)的低端高純石英砂產品。

      目前,在石英的7種礦床工業類型中,能夠加工高純石英的原料有天然水晶、脈石英和花崗偉晶巖石英3種,其中脈石英是我國目前高純石英生產的主要原料。另外,根據最新研究結果( 汪靈,2022),有的石英巖也具有加工高純石英甚至4N8高純石英高端產品的潛力。


      > 大型天然水晶晶簇

      天然水晶通常指具有一定尺寸大小的天然石英單晶體或石英晶簇。高純石英最初是以一、二級天然水晶為原料,再經精選提純加工而成。天然水晶由于受自身特點限制,如礦床規模小、儲量少、生長條件比較苛刻等,已不再適合用作高純石英原料,現主要作為水晶工藝品原料。同時,質純凈的天然水晶仍然用于生產光學水晶材料(石英晶體旋光料、雙折射濾波器)和壓電水晶材料。我國天然水晶資源分布廣泛,幾乎每個省區都有產出,以江蘇東海最為著名。


      > 我國脈石英高純石英優質原料或A級礦(左)和安哥拉脈石英加工的石英球(右)

      成都自然博物館(成都理工大學博物館)/ 藏

      脈石英目前我國的石英坩堝中外層砂主要采用印度等國進口的脈石英來加工。根據國際成功案例和我國研究實踐(汪靈,2022),脈石英是加工高純石英的理想原料之一,其工業價值和應用優勢在于:第一,高純石英的附加值高,絕對用量少,往日按傳統應用標準屬于小礦,而今按新用途標準則為大礦;第二,與石英巖和石英砂巖相比,脈石英幾乎都由石英組成,二氧化硅純度一般都在99.9% 及以上,其他雜質含量相對較少,有利于高純石英的提純加工;第三,與天然水晶相比,同一礦區的脈石英礦石質量相對比較穩定,為礦物原料均一化加工創造了條件。

      我國的脈石英礦產資源分布廣泛,資源優勢明顯。目前,我國脈石英以中、小型礦床為主,礦床成因類型主要為巖漿熱液型、變質熱液型和偉晶巖型,主要分布在四川、新疆、河南、湖北、陜西、云南、廣西、江西和安徽等地。


      > 美國北卡羅來納州斯普魯斯派恩地區花崗偉晶巖石英,系美國和挪威4N8高純石英高端產品的生產原料

      花崗偉晶巖石英美國尤尼明(現為矽比科)公司IOTA高純石英系列產品能獲得國際壟斷地位的根本原因,在于其擁有世界上迄今為止唯一發現的獨特高純石英優質原料——花崗偉晶巖石英。該原料為產自美國北卡羅來納州斯普魯斯派恩地區的花崗偉晶巖(曾稱為白崗巖),其礦床規模較大,石英的雜質少,是美國和挪威4N8高純石英高端產品的生產原料,其產品因質量優異和穩定性高而成為高純石英高端產品的標準,壟斷了全球石英坩堝內層砂和半導體級高純石英市場。

      目前,我國高度重視花崗偉晶巖石英,并在新疆阿爾泰、北秦嶺等地區的找礦方面取得初步進展。在開發利用方面,李育彪等(2020)以北秦嶺花崗偉晶巖石英為原料,采用破碎、篩分、浮選、高溫焙燒、水淬和熱壓酸浸等方法,制備出4N高純石英砂;王安書等(2022)和張海啟等(2022)以河南盧氏等地花崗偉晶巖為原料,采用粗碎、煅燒、水淬、細碎、磁選、浮選和酸浸等方法,制備出4N5高純石英砂。

      需要特別注意的是,花崗偉晶巖石英并不是優質原料代名詞,在眾多花崗偉晶巖石英礦床或礦點中只有少數甚至個別礦屬于高純石英優質原料(A級礦)。因此,要實現偉晶巖型高純石英優質原料找礦和應用的突破,還有大量工作要做。

      4N8高純石英

      為何至關重要

      如果將高純石英比作石英原材料行業中的“ 皇冠”,那么,二氧化硅純度≥99.998%(4N8)的高純石英高端產品則是皇冠上那顆最耀眼的明珠。因為高純石英高端產品不僅是一種新材料和礦物功能材料,而且是半導體、光伏、電子信息和高端電光源等生產必不可少的關鍵基礎材料,更是我國芯片發展(晶圓制造與芯片封裝等)不可或缺的關鍵材料之一。因此,高純石英,尤其是4N8高端產品在國家經濟社會發展、戰略性新興產業、未來產業、國防軍工和國家安全等方面都具有十分重要的地位和作用。

      在直拉法拉制單晶硅棒的生產過程中,以4N8高純石英砂為原料制備的石英坩堝是必不可少且一次性使用的耗材,對單晶硅棒的產量、質量、成本和生產安全都有重要影響。芯片和光伏等行業的高速發展和國家重大需求,帶動了4N8高純石英產品的旺盛需求,近年來,它供應緊俏,價格也不斷走高。目前,為了降低生產成本,我國用于生產單晶硅棒的石英坩堝通常采用三層結構,其中內層砂仍需高價從美國、挪威等國進口,而質量要求略低的中外層砂,其礦石原料也需要從印度等國進口。實際上,用于拉管料和打砣料一級品生產的石英礦原料也需要從國外進口。由此可見,我國高純石英高端產品、甚至中高端產品,要么產品進口,要么礦石進口,仍然處于被處處掣肘的狀態。


      > 高純石英在芯片發展(晶圓制造)中的重要應用

      4N8高純石英

      為何生產困難

      筆者通過長期對不同礦床工業類型石英礦的研究,首先發現了石英提純定律”,即對于具有一定粒度的石英砂產品來說,任何一種石英礦都存在一定的提純加工局限性,在現有經濟技術條件下都有一個提純極限值。換句話說,一個石英礦能夠加工什么純度的石英砂產品是自然決定的。

      石英提純定律的產生機理與石英原材料產品的兩個重要特征有著密切關系:第一,都是以天然石英礦為原料加工的產品,包括天然水晶在內的每一種天然石英礦物原料中,通常都存在雜質礦物、氣液包裹體和類質同像雜質3類雜質;第二,都是具有一定粒度要求的產品,即所加工的產品是砂,而不是粉,更不是超細粉。粒度作為高純石英的一個重要指標,其粒度范圍一般是40~150目,具體粒度應根據工業應用確定。生產和研究都表明,由這兩個共同特征所決定,天然石英礦的3類雜質中都有一部分可分離提純,這就是石英提純加工可能性的理論依據;同時,天然石英礦的3類雜質中也有一部分不可分離提純,這就是石英提純加工局限性或石英提純定律的產生機理。

      基于以上認識和長期研究,筆者首先提出了“高純石英技術”概念,即高純石英技術不只是提純工藝加工技術,而應包括原料選擇、提純工藝、加工裝備和質量檢測4個技術方面,它們是既相互獨立,又相互聯系和相互制約的技術整體。因此,發展高純石英技術是一項系統工程,四大技術缺一不可。


      > 高純石英技術是由四大技術組成的既相互獨立, 又相互聯系和相互制約的技術整體

      原料選擇技術在高純石英技術的4個方面中,以高純石英原料的識別、評價與選擇技術最為重要,也最為關鍵。研究和實踐證明,4N8高純石英高端產品生產必須采用高純石英優質原料。石英在自然界中的分布十分廣泛,成因多種多樣,目前能夠作為工業應用的石英礦產資源有7種礦床工業類型:天然水晶、石英砂巖、石英巖、脈石英、粉石英、天然石英砂和花崗偉晶巖石英。由于不同工業類型的石英還存在多種細分成因類型,而且受成礦地質條件的影響,同一成因類型石英的礦物學、巖石學和礦床學特征也有較大差別。因此,以目前的加工技術水平,能夠加工高純石英高端產品的礦石原料只是極少數,甚至是極個別。迄今為止,在國內還沒有找到能夠穩定滿足工業生產需要的高純石英優質原料。因此,如何在復雜多樣的石英礦中發現和選擇高純石英高端產品的原料,已成為實現高純石英技術突破的前提和保證。我們應當努力的方向是,發現能夠穩定滿足工業生產需要的高純石英優質原料(A級礦),這是解決我國4N8高純石英高端產品被“卡脖子”問題的關鍵所在。

      提純工藝技術目前我國的工業生產工藝主要有水淬、制砂、磁選、浮選、酸浸和氯化焙燒,等等。實踐證明,必須根據不同成因、不同產地、不同種類石英礦原料的礦物材料學特征,尤其是根據礦物原料中雜質礦物、氣液包裹體和類質同像雜質3類雜質的特點及其賦存狀態,做到一礦一策,提出有針對性的加工工藝與方法,方能達到預期的效果。

      加工裝備技術由于高純石英加工工藝具有試劑純度高、腐蝕性強、材料標準嚴、環境要求苛刻和安全要求高等特點,這就決定了高純石英加工生產裝備要求很高,研發安全、環保、高效的生產裝備是能否實現規模化、產業化的關鍵條件。

      目前,我國采用國產生產設備和印度等國進口的優質石英礦(A級礦),能夠生產出滿足石英坩堝要求的中層砂和外層砂,說明現有國產設備是可行的,但不是先進的。因為我國整個高純石英行業仍然采用開放式、間歇式、平面式、模塊化的生產方式,還存在產能低、生產成本高、勞動強度大、質量不穩定、占地面積大和環保健康等問題,如何使高純石英生產實現自動化、集約化、綠色化是大家期待的目標。

      質量檢測技術由于高純石英具有雜質含量低、溶礦難度大等特點,其質量檢測難度很高。高純石英質量的ICP(電感耦合等離子體)檢測技術包括試樣制備和儀器檢測兩大部分,其技術關鍵是試樣的消解和溶礦制備。這是因為在試樣制備過程中,所采用的試樣重量、試劑組合、試劑用量和試劑純度等與ICP檢測效果的關系明顯,會對檢測結果產生重要影響。因此,為了減少檢測誤差,必須盡量避免外來雜質污染,嚴格控制試樣制備的各項參數。如何將鋁、硼、鋰、鈉、鉀、鈣、鎂、鈦、鐵、錳、銅、鉻、鎳等13種或15種(增加磷和鋅)雜質元素測全和測準,仍然是值得大家注意的問題,急需用標準化技術支撐。

      從以上石英的提純定律和高純石英四大技術的分析可知,我國4N8高純石英被“卡脖子”,主要是卡在礦石原料,具體來說是卡在迄今為止還缺少能夠穩定滿足工業生產需要的國產高純石英優質原料(A級礦)。其生產難點主要在于高純石英優質原料的找礦困難,同時,還難在必須根據原料中雜質的特點及其賦存狀態,以具有針對性的提純工藝技術、先進的生產裝備技術、可靠的質量檢測技術作保障。

      國產技術突破有何意義


      > 我國首條全自動4N8高純石英砂高端產品生產線全景

      2007年以來,為了解決我國4N8高純石英生產難題,筆者科研團隊先后解決了高純石英的原料遴選、提純工藝、生產裝備、質量檢測等四大技術痛點,尤其是突破了高純石英優質原料的識別、評價與遴選這一關鍵技術瓶頸,并結合多年野外地質和工程應用,打破了“中國沒有優質礦或A級礦”的傳統認知,率先在我國秦嶺等地發現4N8高端產品生產必需的高純石英優質礦,為我國高純石英產業高質量發展提供了技術支撐和礦產資源保障。

      為了加快科技成果轉化,盡快解決這個“卡脖子”難題,2023年12月28日,筆者科研團隊和7項高純石英組合專利受讓方工程技術團隊,歷經兩年技術攻關,在四川羅江建成了我國首條以國產礦石為原料、具有完全自主知識產權的全自動高純石英砂高端產品生產線,并于同日實現了成功點火運行。中國粉體網、今日頭條等多家新媒體平臺先后以《重大突破!我國首條全自動4N8高純石英砂生產線成功點火運行》和《做好‘壓艙石’,護航中國光伏產業高質量發展》為題,專題報道和采訪了該科技成果轉化成果,在全國引發高度關注和強烈反響。


      > 我國首條全自動4N8高純石英砂生產線采用的國產脈石英A級礦樣品(左)及其局部放大照片(右)

      該生產線是我國首條以國產礦石為原料、具有完全自主知識產權的全自動4N8高純石英砂高端產品生產線,具有國際領先水平。因為它是以成都理工大學掛牌轉讓的7項高純石英國家發明專利組合為核心技術,以國產礦石為原料,通過國內首創的立體式布局和自主研發的關鍵設備,使程序復雜、條件苛刻的高純石英砂加工生產工藝流程實現自動化,從根本上解決了我國高純石英行業目前存在的產能低、生產成本高、勞動強度大、質量不穩定和環保健康等問題,實現了4N8高純石英砂生產的智能化和綠色環保。

      該生產線自成功點火運行幾個月以來,一直在不斷優化和完善,經過若干批次產品質量檢測,其二氧化硅純度已穩定在99.998%及以上。該生產線的重要意義在于打通了4N8高純石英砂技術從實驗室到連續工業化生產的轉化難關,標志著我國攻克了生產4N8高純石英高端產品的“卡脖子”技術,解決了我國長期以來無法自主生產4N8高純石英高端產品的難題,可為我國芯片和光伏產業提供關鍵基礎材料支持,對護航中國高純石英產業高質量發展起到“壓艙石”作用。

      以該生產線為標志的科技成果轉化,瞄準國家重大需求和“卡脖子”難題,形成科研成果—專利—產品—商品的閉環,獲評2022年度四川省高校院所知識產權市場化運營典型案例,入選成都市科技成果轉化白皮書(2023)。

      結語與展望

      高純石英,尤其是4N8高端產品在國家經濟社會發展、戰略性新興產業、未來產業、國防軍工和國家安全等方面都具有十分重要的地位和作用。目前,我國在高純石英技術的4個方面,即在原料選擇、提純工藝、加工裝備和質量檢測方面都做了大量工作,并取得了十分可喜的成就,在高純石英產品的產量、質量和品種上基本滿足了我國需要。而要注意的是,我國高純石英行業依然存在產能低、勞動強度大、質量不穩定和環保健康等問題。更要清醒地認識到,我國芯片和光伏產業必需的4N8高純石英高端產品這一關鍵基礎材料,仍受制于人。

      值得高興的是,在四川羅江建成的我國首條全自動高純石英砂生產線的成功點火運行,不僅為我國智能化生產以國產礦石為原料的綠色環保的4N8高純石英砂高端產品提供了市場化、產業化的典型案例,而且標志著我國攻克了生產4N8高純石英高端產品的“卡脖子”技術,實現了我國自主生產4N8高純石英高端產品的重大突破。

      當前,高純石英,尤其是4N8高端產品已引起了國家和各界的高度重視。我們有理由相信,在各級政府和有關方面的共同努力下,堅持“四個面向”,一定能夠實現我國高純石英優質原料(A級礦)找礦的更大突破,為解決4N8高純石英高端產品的“卡脖子”難題提供可靠的礦產資源保障和科學技術支撐,為我國高純石英產業,以及芯片、光伏產業高質量發展作出應有的重要貢獻。


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      何為石英

      石英的化學成分為二氧化硅(SiO2 ),其中硅、氧含量分別為46.74%和53.26%。石英是一種架狀結構的硅的氧化物,α-石英(低溫石英,三方晶系)和β-石英(高溫石英,六方晶系)的總稱,二者的轉化溫度為573℃,未加說明時,常指α-石英。

      石英的成分一般比較純凈,但由于類質同像替代作用,可含有少量鋁、鉀、鈉、鋰、鈣、鐵、鎂、錳、鈦、銅、鋅、鉻、鎳、硼、磷等雜質元素。一般為透明或半透明,油脂光澤,具旋光性,通常為乳白色或無色,因各種雜質的混入可呈現紫、粉、黃、煙、綠等不同顏色;密度2.66克/立方厘米,摩氏硬度7(為10種標準硬度礦物之一),堅硬、耐磨、性脆、無解理、貝殼狀斷口、具壓電性、不導電、傳熱性差,其電學、熱學和力學性能均具有明顯的異向性;化學性質穩定,除氫氟酸(HF)外不溶于其他酸,微溶于氫氧化鉀(KOH)溶液,熔化溫度1710~1756℃,冷卻后即變為物化性能十分優異、有“玻璃王”之稱的石英玻璃。

      正是由于具有上述獨特的物化性能,石英得以成為一種非常重要的工業礦物。與其他非金屬礦物相比,石英原料工業應用的一個顯著特點是同時存在三種形式:一是利用礦物晶體固有的物理和化學性質,如用于生產石油壓裂支撐劑(壓裂砂)、型砂、結晶硅微粉等;二是提供有用化學成分,是玻璃、陶瓷等硅酸鹽材料的最基本原材料;三是冶煉提取有用元素硅,目前是工業硅及其提純加工產物多晶硅和單晶硅的唯一原料。


      > 石英礦物原料工業應用的三種形式與應用實例示意圖(汪靈,2019)

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      石英原材料產品有哪些

      目前,我國每年各種石英原材料的用量在2億噸左右。石英工業應用的最重要特點是,用途十分廣泛,產品種類繁多,用量巨大,工業產值很大,不同品種的價格懸殊巨大,一些品種的附加值很高。石英的工業應用和價值與二氧化硅的純度有著密切的關系。根據石英的二氧化硅純度及其工業應用特點,可將石英原材料及相關產品歸納為如下三大類:

      二氧化硅純度為99%左右產品。主要應用在石英傳統工業領域,包括各種浮法玻璃、日用玻璃(如玻璃器皿、酒瓶等)、玻璃纖維、陶瓷、鑄造(型砂和覆膜砂)、耐火材料、冶金(冶煉各種硅質合金)等;同時還包括光伏玻璃、工業硅、石油壓裂支撐劑和3D打印砂等新的應用領域。其特點是一般單價不是很高,但其用量很大,工業產值十分可觀。例如,隨著油氣開采難度加大,水力壓裂技術已成為油氣井增產的一項重要技術措施。這一新技術需要大量的石油壓裂支撐劑(石英砂),目前我國該產品的年均產量約2500萬噸。又如,全鐵(TFe)含量≤0.01%的低鐵石英砂是近年來用量增長較快的品種,主要用于生產超白玻璃、光伏玻璃和五糧液水晶瓶,等等。據工信部數據顯示,2023年,中國光伏超白壓延玻璃累計產量2478.3萬噸,同比增長54.3%。以原料占比60%計算,低鐵石英砂使用量約1487萬噸,與2019年的510萬噸相比,增長約2倍。

      二氧化硅純度為99%~99.9%產品。也是近年來石英的重要應用領域之一,主要是各種硅微粉。硅微粉是以二氧化硅為主要成分的粉體填料系列產品的總稱,應用十分廣泛,如用于電工、電子和集成電路覆銅板(CCL)等,其中最高端的產品是用于芯片封裝的球形硅微粉。硅微粉產品系列比較復雜,除大型集成電路和芯片封裝用硅微粉對二氧化硅純度有更高要求外,其他硅微粉通常要求二氧化硅純度為99%~99.9%,全鐵含量<100×10-6。

      二氧化硅純度為>99.9%產品。主要指高純石英系列產品,這是近年來石英附加值最高和最熱門的應用領域。無論從制造難度和重要性還是從礦產資源的稀缺性看,高純石英可比作石英原材料行業中的“皇冠”。


      > 石英原材料的二氧化硅純度與價格的關系(汪靈,2021)

      作者: 汪 靈 王哲皓 王新硯

      編輯: 何陳臨秋

      排版: 何陳臨秋

      審核: 刁淑娟

      官網: https://kpwhbjb.cgl.org.cn

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