嘉定的這把“尺”，堪稱工業(yè)精密計(jì)量領(lǐng)域“全能檢測(cè)管家”

近日，嘉定企業(yè)上海乾曜光學(xué)科技有限公司攜最新自主研發(fā)的多款主力新品集中亮相2026長(zhǎng)春國(guó)際光電博覽會(huì)，現(xiàn)場(chǎng)展出包括環(huán)形光源激光干涉儀、素繪FHD XL310、素繪HD VWS150激光干涉儀工作站、CarrierFiz菲索型瞬態(tài)激光干涉儀等多款核心設(shè)備，全方位展示企業(yè)在精密光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域的硬核創(chuàng)新實(shí)力。

據(jù)介紹，素繪FHD XL310激光干涉儀如同精密光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域的“尺子”，補(bǔ)齊了傳統(tǒng)干涉儀量程不足、無(wú)法檢測(cè)大形變工件的行業(yè)短板。

在精密光學(xué)元件檢測(cè)領(lǐng)域，如何在不損傷精密工件的前提下，兼顧超大量程、高精度穩(wěn)定檢測(cè)，一直是困擾行業(yè)多年的技術(shù)難題。傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備測(cè)量量程有限，針對(duì)大平面度、大翹曲度的光學(xué)工件、半導(dǎo)體晶圓，不僅檢測(cè)精度大打折扣，還極易在檢測(cè)過(guò)程中劃傷、損耗精密工件，難以實(shí)現(xiàn)高效無(wú)損檢測(cè)。同時(shí)市面上多數(shù)檢測(cè)設(shè)備結(jié)構(gòu)固化、適配性差，面對(duì)大尺寸工件檢測(cè)時(shí)穩(wěn)定性不足，很難滿足精密制造的全流程質(zhì)控需求。

素繪FHDXL310

研發(fā)過(guò)程中，乾曜光學(xué)研發(fā)團(tuán)隊(duì)面臨常規(guī)光學(xué)結(jié)構(gòu)無(wú)法兼顧寬量程與高精度的難題，出現(xiàn)數(shù)據(jù)偏差等情況。為此，研發(fā)團(tuán)隊(duì)結(jié)合海量工業(yè)實(shí)測(cè)工況反復(fù)推演、迭代優(yōu)化光學(xué)結(jié)構(gòu)與算法模型，不斷攻克大量程高精度測(cè)量、無(wú)損檢測(cè)、結(jié)構(gòu)小型化兼容等諸多技術(shù)難點(diǎn)，歷經(jīng)多輪技術(shù)攻堅(jiān)，最終打磨出這款兼顧大量程、高精準(zhǔn)、高適配的素繪FHD XL310激光干涉儀。

據(jù)介紹，這款素繪FHD XL310激光干涉儀配備310毫米的大口徑透光鏡頭，采用更貼合產(chǎn)品實(shí)際使用狀態(tài)的上置鏡頭設(shè)計(jì)，搭配全新光學(xué)結(jié)構(gòu)和專用鍍膜鏡片，把檢測(cè)范圍提升到120微米，能夠快速、精準(zhǔn)檢測(cè)各類光學(xué)工件、半導(dǎo)體晶圓的平整度和翹曲度，可完全滿足生產(chǎn)線在線質(zhì)檢的需求。

“設(shè)備分為集成版和單機(jī)版兩種款式，整體體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，還配備了優(yōu)質(zhì)的減震結(jié)構(gòu)，測(cè)量過(guò)程穩(wěn)定精準(zhǔn)，不管是實(shí)驗(yàn)室精密檢測(cè)，還是工廠批量生產(chǎn)質(zhì)檢都能輕松適配。”乾曜光學(xué)技術(shù)總監(jiān)祝沛介紹。

素繪HD VWS150

素繪HD VWS150激光干涉儀工作站也是展會(huì)亮眼的存在。作為企業(yè)第二代升級(jí)款產(chǎn)品，它堪稱工業(yè)精密計(jì)量領(lǐng)域的“全能檢測(cè)管家”，針對(duì)性補(bǔ)齊初代產(chǎn)品的工況適配與尺寸測(cè)量短板，更適配工業(yè)化批量精密檢測(cè)需求。“這款設(shè)備升級(jí)了整體結(jié)構(gòu)，即便在普通車間、展會(huì)環(huán)境中，也能保持測(cè)量數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)與穩(wěn)定。”祝沛介紹，設(shè)備擴(kuò)容了檢測(cè)空間，可適配直徑300毫米的大型光學(xué)鏡片及光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)，適用場(chǎng)景更廣。同時(shí)，該設(shè)備搭載了雙精準(zhǔn)測(cè)量模式，可配合智能軟件自動(dòng)分析數(shù)據(jù)、生成報(bào)告，有效提升了光學(xué)精密檢測(cè)的精度與效率。

上海乾曜光學(xué)科技有限公司成立于2009年6月，是高新技術(shù)企業(yè)、上海市科技小巨人（培育）企業(yè)、上海市“專精特新”中小企業(yè)，長(zhǎng)期專注于光學(xué)測(cè)量?jī)x器的研制。

通訊員：毛佳凱

編輯：袁悅

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