【凌光快訊】電性失效分析國產全系列通關！LUXET VERITAS微光顯微鏡及激光誘導電阻變化（EMMI+OBIRCH）二合一顯微鏡正式發布！

6月15日，安徽凌光紅外科技有限公司LUXET VERITAS微光顯微鏡及激光誘導電阻變化（EMMI+OBIRCH）二合一顯微鏡正式全球首發。本次活動匯聚中國工程院院士、中國科學院合肥物質科學研究院學術委員會主任劉文清、合肥市科技局局長范進、國際半導體產業協會（中國區）總裁馮莉女士、合肥高新區黨工委委員、管委會副主任王俊生、中科院合肥物質院安徽光機所研究員、安徽省光學學會秘書長謝品華、合肥高新區科技局局長劉緒勇、科大硅谷服務平臺有限公司董事長吳海龍，高校專家、產業鏈客戶、投資機構及行業媒體等百余位嘉賓，在合肥高新區工投智谷學術報告廳共同見證國產半導體裝備的全新突破。這款國內首創的集成化電性失效分析設備，標志著凌光紅外躋身全球第五家掌握該類產品核心技術并成功量產的企業，產品綜合性能對標國際頭部品牌，位居全球前二，將有力破解我國高端半導體檢測設備“卡脖子”難題，為集成電路產業自主可控注入強勁動能。

圖1：發布會現場圖

當前，全球半導體產業步入先進制程時代，芯片內部結構愈發精密復雜，電性失效分析成為芯片研發迭代、良率提升與品質保障的核心環節。長期以來，國內高端芯片失效分析設備市場被日本濱松、美國賽默飛等海外企業壟斷，進口設備采購成本高昂、交付周期漫長，還存在售后響應滯后，迭代更新速度較慢等問題。在此背景下，凌光紅外深耕光學成像與精密檢測領域，堅持正向研發，持續攻關電性失效分析核心技術，接連推出鎖相紅外顯微鏡、微光顯微鏡、激光誘導電阻變化顯微鏡等系列產品，多項性能指標超越國際同類產品。此次推出的二合一集成設備，打破了十數年來零國產的困境。

圖2：LUXET VERITAS微光顯微鏡及激光誘導電阻變化（EMMI+OBIRCH）二合一顯微鏡

據凌光紅外CTO沈金輝博士現場介紹，LUXET VERITAS二合一顯微鏡深度融合EMMI微光檢測與OBIRCH激光誘導電阻變化兩大主流失效分析功能，一機兩用、高度集成，全面覆蓋半導體全鏈條檢測需求。在核心硬件與性能參數上，設備搭載深度制冷近紅外相機與大口徑自研1.35倍物鏡，EMMI模塊可精準定位納安級微弱漏電，高效識別PN結擊穿、閂鎖效應、柵極氧化層漏電、多晶硅缺陷等典型失效問題；OBIRCH模塊采用1300nm標準激光波段、500mW額定功率，可實現pA級超高精度電流放大測量，精準排查金屬線路、導通孔、接觸孔阻值異常等隱蔽缺陷。設備標配多個倍率顯微物鏡組，搭配超高精度XYZ運動平臺與雙面探針臺，支持大尺寸樣品無縫圖像拼接，可適配不同尺寸、不同材質、不同厚度的芯片樣品，廣泛應用于晶圓制造、先進封裝、存儲芯片、功率器件等多個場景。

圖3、4：LUXET VERITAS應用場景圖

熱點圖和實物圖的疊加

相較于傳統單一功能設備，該二合一設備優勢體現在保證兩大模塊獨立高精度運行的同時，大幅降低設備占地面積與綜合采購成本，簡化檢測流程，提升芯片失效分析效率。從技術實力來看，該產品核心性能比肩日本濱松等國際頂尖品牌，部分檢測靈敏度、平臺運動精度等指標實現超越，是國產半導體檢測裝備追趕并部分引領國際水平的標桿產品。

圖5：凌光紅外新品發布儀式

圖6：凌光紅外與季豐電子簽約

圖7：凌光紅外和國儀量子、三英精密簽約

發布會現場還舉行了隆重的新品發布儀式與戰略合作簽約儀式。在劉文清院士、市科學技術局局長范進、高校專家、企業代表的共同見證下，LUXET VERITAS設備正式面向市場發布。凌光紅外與季豐電子完成簽約，雙方未來將攜手推進凌光紅外電性失效分析設備在半導體第三方實驗室領域的應用。隨后，凌光紅外和國儀量子、三英精密也簽署了市場合作協議，共同推進國產失效分析設備在中國半導體行業的規模化應用。

值得一提的是，本次活動共有至少七家頭部第三方實驗室技術負責人到場，充分表明了凌光紅外的行業認可度及高端電性失效分析設備國產化的關注度。在互動問答環節，技術團隊針對設備技術原理、應用場景、定制化服務、技術迭代規劃等問題，與現場嘉賓展開深入交流，獲得行業客戶與專家的高度認可。最后，全體嘉賓前往凌光紅外生產基地參觀考察，實地了解設備生產工藝、質控體系與研發環境。

圖8：工廠參觀照片

作為扎根合肥、服務安徽科創發展的本土科創企業，凌光紅外此次新品落地，也是助力合肥市“6+5+4+X”戰略性新興產業體系建設、賦能“科大硅谷”發展的重要實踐。除半導體電性失效分析設備外，公司還布局熱導率檢測，熱阻檢測，顯微測溫，硅光芯片檢測等多條產品線，持續為新材料、光電、高端制造等領域提供高端檢測儀器。業內人士表示，當前國內半導體產業加速國產化進程，高端檢測設備需求持續攀升，LUXET VERITAS二合一顯微鏡的推出，不僅解決了芯片失效分析領域的設備痛點，也為國內半導體實驗室、封測企業、芯片設計公司提供了高性價比的國產化替代選擇。

隨著國產設備替代節奏不斷加快，凌光紅外將圍繞“光”，“熱”兩個主題持續深耕光學精密檢測賽道，堅持技術自主創新，不斷迭代產品性能、拓展應用場景，以硬核科技助力我國半導體產業鏈供應鏈安全穩定，同時依托合肥優良的科創生態，集聚產業資源，打造具有全球競爭力的國產科學儀器品牌，為安徽省建設科技創新策源地貢獻更大力量。